冷處理。高精度量具（塞規）在淬火后必須進行冷處理．以減少殘余奧氏體量．從而增加尺寸穩定性。冷處理溫度一般為一70—－80℃并在淬火冷卻到室溫后立即進行，以免殘余奧氏體發生陳化穩定。
淬火和低溫回火。（環規）量具鋼為過共析鋼．通常采用不完全淬火加低溫回火處現在保證硬度的前提下，盡量降低淬火溫度并進行預熱，以減少加熱和冷卻過程中的溫差及淬火應力。量具的淬火方式為油冷（20～30℃）不宜采用分級淬火和等溫淬火．只有在特殊情況下才予以考慮。一般采用低溫回火，回火溫度為150～160℃，回火時間不應小于4～5h.
調質處理。其目的是獲得回火索氏體組織，以減少淬火變形和提高機械加工的光潔度。
量具在使用過程中隨時間延長而發生尺寸變化的現象稱為量具的時效效應。這是因為．①用于制造量具的過共析鋼淬火后含有一定數量的殘余奧氏體，殘余奧氏體變為馬氏體引起體積膨版。②馬氏體在使用中繼續分解，正方度降低引起體積收縮③殘余內應力的存在和重新分布，使彈性變形部分地轉變為塑性變形引起尺寸變化。因此在量具（螺紋環規）的熱處理中．應針對上述原因采用如下熱處理措施：